1、羅茨泵的前級(jí)抽速：S=(0.1-0.2)S羅
2、粗抽泵的抽速選擇：2.3Kq.v.lg(Pa/P預(yù))/t
S -機(jī)械泵有效抽速（升/秒）
S羅-羅茨泵有效抽速（升/秒）
Q1 -真空系統(tǒng)漏氣率（托升/秒）
P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度（托）
v-真空系統(tǒng)容積（升）
t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間
Pa-大氣壓值（托）
Kp-修正系數(shù)與設(shè)備終值時(shí)壓強(qiáng)P有關(guān)